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精密交叉系统TLM
优点:
较小稳定时间可提高效率和输出
几乎无振动操作
即用型系统
特点:
精确定位在亚微米范围内
高动态直接驱动
精密交叉滚柱导轨带防滑系统
TLM是交叉工作台系统,结合了精密导轨非常高的导向准确度。无铁芯线性电机驱动器和光学线性编码器可实现亚微米范围内的精确定位。TLM开式框架XY平台较初设计用于测量和激光应用。
技术数据
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